Терлецький, Олександр СеменовичПінчук, Наталія Володимирівна2023-10-312023-10-312021Терлецький О. С. Особливості формування структури та властивостей вакуумно-дугових покриттів TiN під впливом високовольтного імпульсного потенціалу / О. С. Терлецький, Н. В. Пінчук // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : тези доп. 29-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2021, [18-20 травня 2021 р.] : у 5 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : Планета-Прінт, 2021. – С. 266.https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/70283ukматеріалознавствовакуумно-дугові нітридні покриттядеформаціїкристалічна решітка TiNArticle