Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/14405
Title: Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением
Other Titles: Influence of the thickness of the bilayer TiN/ZrN on structure and properties of multilauer coatings obtained by vacuum-arc evaporation
Authors: Соболь, Олег Валентинович
Андреев, Анатолий Афанасьевич
Горбань, Виктор Федорович
Столбовой, Вячеслав Александрович
Пинчук, Наталия Владимировна
Мейлехов, Андрей Александрович
Keywords: покрытия TiN/ZrN; потенциал смещения; мононитрид; текстура
Issue Date: 2015
Publisher: Национальный научный центр "Харьковский физико-технический институт"
Citation: Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением / О. В. Соболь [и др.] // Вопросы атомной науки и техники = Problems of atomic science and technology. – 2015. – № 2 (96). – С. 124-129.
Abstract: Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и микроиндентирования исследованы фазовый состав, структура, субструктура, твердость и модуль упругости вакуумно-дуговых многослойных покрытий системы TiN/ZrN, полученных с разными толщинами двухслойных периодов при постоянных отрицательных потенциалах смещения (Ub) -140 и -200 В. Установлено, что при действии этих потенциалов в процессе осаждения покрытий слои мононитридов ZrN и TiN формируются с преимущественной ориентацией кристаллитов (текстурой) с осью [111], перпендикулярной плоскости роста. Увеличение числа границ при уменьшении толщины периодов приводит к увеличению твердости до 45 ГПа, что значительно превосходит твердость каждого из слоев ZrN и TiN в отдельности
Phase composition, structure, substructure, hardness and elastic modulus of vacuum-arc multilayer coatings of TiN/ZrN, obtained with different thicknesses bilayer periods at constant negative bias potential (Ub) -140 and -200, was investigated by X-ray diffraction, electron microscopy and microindentation. It is established that under the action of these potentials during the deposition of layers mononitrides ZrN and TiN formed the preferred orientation of crystallites (texture) with the [111] axis perpendicular to the plane of growth. Increasing the number of boundaries with decreasing thickness of periods leads to increased hardness of 45 GPa, which is much greater than the hardness as ZrN and TiN single-layer coatings.
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/14405
Appears in Collections:Кафедра "Матеріалознавство"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2015_Sobol_Vliyanie_tolshchiny.pdf644,88 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.