Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/30784
Title: Объемные изменения и фазовые трансформации в тонкопленочных лазерных конденсатах никеля при отжиге
Other Titles: Volume Changes and Phase Transformations in Thin Film Laser Condensates of Nickel under Annealing
Authors: Багмут, Александр Григорьевич
Жучков, Василий Анатольевич
Шипкова, Ирина Геннадьевна
Олейник, Е. Е.
Keywords: полиморфизм; кобальт; решетка кристаллическая; решетка гексагональная; решетка плотноупакованная; решетка гранецентрированная; решетка кубическая; микроскопия электронная; осаждение импульсное; осаждение лазерное; кислород
Issue Date: 2009
Publisher: Наука
Citation: Объемные изменения и фазовые трансформации в тонкопленочных лазерных конденсатах никеля при отжиге / А. Г. Багмут [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2009. – № 10. – С. 54-58.
Abstract: Методами просвечивающей электронной микроскопии и дифракции электронов исследованы закономерности фазообразования и структурные трансформации в пленках, осажденных лазерным распылением Ni в вакууме и в атмосфере кислорода. Показано, что в зависимости от давления кислорода в испарительной камере и от температуры подложки в пленках формируются следующие структурные и фазовые состояния: аморфные пленки Ni, пленки Ni с метастабильной ГПУ-решеткой, пленки Ni со стабильной ГЦК-решеткой и пленки оксида NiO с ГЦК-структурой. Фазовый переход из аморфного в кристаллическое состояние (с ГЦК-решеткой) при отжиге пленок Ni сопровождается относительным увеличением плотности вещества на 7.5%. Фазовый переход в пленках Ni из структурного состояния с ГПУ-решеткой в структурное состояние с ГЦК-решеткой сопровождается относительным увеличением плотности вещества на 18.5% и почти десятикратным увеличением среднего размера зерен.
The mechanisms of phase formation and structure transformations in films deposited with laser sputtering of Ni in vacuum and in oxygen atmosphere are investigated by transmission electron microscopy and electron diffraction. Following structure and phase states are shown to be formed in films depending on the oxygen pressure in the evaporation chamber and on the substrate temperature: amorphous Ni films, Ni films with metastable HCP crystal lattice, Ni films with stable FCC crystal lattice and oxide NiO films with FCC crystal lattice. The annealing of amorphous film initiates a phase transformation from amorphous state into crystalline one (with FCC crystal lattice) and relative density increasing 7.5%. The annealing of crystalline film with HCP structure initiates a phase transformation from HCP crystal lattice into FCC crystal lattice, relative density increasing 18.5% and nearly ten-multiple increasing of mean grain size.
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/30784
Appears in Collections:Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"
Кафедра "Фізика"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
PRSNI_2009_10_Bagmut_Obyomnye.pdf355,05 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.