Объемные изменения и фазовые трансформации в тонкопленочных лазерных конденсатах никеля при отжиге
Вантажиться...
Дата
2009
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
Наука
Анотація
Методами просвечивающей электронной микроскопии и дифракции электронов исследованы закономерности фазообразования и структурные трансформации в пленках, осажденных лазерным распылением Ni в вакууме и в атмосфере кислорода. Показано, что в зависимости от давления кислорода в испарительной камере и от температуры подложки в пленках формируются следующие структурные и фазовые состояния: аморфные пленки Ni, пленки Ni с метастабильной ГПУ-решеткой, пленки Ni со стабильной ГЦК-решеткой и пленки оксида NiO с ГЦК-структурой. Фазовый переход из аморфного в кристаллическое состояние (с ГЦК-решеткой) при отжиге пленок Ni сопровождается относительным увеличением плотности вещества на 7.5%. Фазовый переход в пленках Ni из структурного состояния с ГПУ-решеткой в структурное состояние с ГЦК-решеткой сопровождается относительным увеличением плотности вещества на 18.5% и почти десятикратным увеличением среднего размера зерен.
The mechanisms of phase formation and structure transformations in films deposited with laser sputtering of Ni in vacuum and in oxygen atmosphere are investigated by transmission electron microscopy and electron diffraction. Following structure and phase states are shown to be formed in films depending on the oxygen pressure in the evaporation chamber and on the substrate temperature: amorphous Ni films, Ni films with metastable HCP crystal lattice, Ni films with stable FCC crystal lattice and oxide NiO films with FCC crystal lattice. The annealing of amorphous film initiates a phase transformation from amorphous state into crystalline one (with FCC crystal lattice) and relative density increasing 7.5%. The annealing of crystalline film with HCP structure initiates a phase transformation from HCP crystal lattice into FCC crystal lattice, relative density increasing 18.5% and nearly ten-multiple increasing of mean grain size.
The mechanisms of phase formation and structure transformations in films deposited with laser sputtering of Ni in vacuum and in oxygen atmosphere are investigated by transmission electron microscopy and electron diffraction. Following structure and phase states are shown to be formed in films depending on the oxygen pressure in the evaporation chamber and on the substrate temperature: amorphous Ni films, Ni films with metastable HCP crystal lattice, Ni films with stable FCC crystal lattice and oxide NiO films with FCC crystal lattice. The annealing of amorphous film initiates a phase transformation from amorphous state into crystalline one (with FCC crystal lattice) and relative density increasing 7.5%. The annealing of crystalline film with HCP structure initiates a phase transformation from HCP crystal lattice into FCC crystal lattice, relative density increasing 18.5% and nearly ten-multiple increasing of mean grain size.
Опис
Ключові слова
полиморфизм, кобальт, решетка кристаллическая, решетка гексагональная, решетка плотноупакованная, решетка гранецентрированная, решетка кубическая, микроскопия электронная, осаждение импульсное, осаждение лазерное, кислород
Бібліографічний опис
Объемные изменения и фазовые трансформации в тонкопленочных лазерных конденсатах никеля при отжиге / А. Г. Багмут [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2009. – № 10. – С. 54-58.