Рост кристаллов при электронно-лучевой кристаллизации аморфных пленок HfO₂
Дата
2018
ORCID
DOI
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУ "ХПІ"
Анотація
Опис
Ключові слова
диоксид гафния, электронный луч, дендритная полиморфная кристаллизация, размерно-фазовый эффект
Бібліографічний опис
Рост кристаллов при электронно-лучевой кристаллизации аморфных пленок HfO₂ / А. Г. Багмут [и др.] // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : наук. вид. : тези доп. 26-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2018, [16-18 травня 2018 р.] : у 4 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : НТУ "ХПІ", 2018. – С. 315.