Рост кристаллов при электронно-лучевой кристаллизации аморфных пленок HfO₂
Дата
2018
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУ "ХПІ"
Анотація
Опис
Ключові слова
диоксид гафния, электронный луч, дендритная полиморфная кристаллизация, размерно-фазовый эффект
Бібліографічний опис
Рост кристаллов при электронно-лучевой кристаллизации аморфных пленок HfO₂ / А. Г. Багмут [и др.] // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : наук. вид. : тези доп. 26-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2018, [16-18 травня 2018 р.] : у 4 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : НТУ "ХПІ", 2018. – С. 315.