Модифікація нанорельєфу методом електронно-променевої мікрообробки

Ескіз

Дата

2018

ORCID

DOI

item.page.thesis.degree.name

item.page.thesis.degree.level

item.page.thesis.degree.discipline

item.page.thesis.degree.department

item.page.thesis.degree.grantor

item.page.thesis.degree.advisor

item.page.thesis.degree.committeeMember

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

НТУ "ХПІ"

Анотація

Представлені результати мікрообробки електронним променем стрічкової форми поверхонь оптичних стекол К8, К108 з початковим нанорельєфом поверхні 15-22 нм після промислового шліфування та полірування. За результатами досліджень із застосуванням атомно-силової мікроскопії встановлено, що після електронно-променевої мікрообробки нанорельєф зменшився до значень 1,5…2,2 нм, що задовольняє вимогам до поверхонь оптичних інтегральних схем.
The article represents the results of ribbon beam electron ray micromachining of optical glasses K8 and K108 surfaces with the initial nanorelief surface of 15-22 nm after the industrial grounding and polishing. After the application of atomic force microscopy, it was investigated that a nanorelief diminished to the values of 1,5…2,2 nm after a micromachining. This fulfills the requirements to the board surfaces of the optical integrated schemes.

Опис

Ключові слова

оптичне скло, атомно-силовий мікроскоп, оптична інтегральна схема, глибоке шліфування-полірування, electron-beam micromachining, optical glass, atomic force microscope

Бібліографічний опис

Модифікація нанорельєфу методом електронно-променевої мікрообробки / В. С. Антонюк [та ін.] // Резание и инструменты в технологических системах = Cutting & tools in technological systems : междунар. науч.-техн. сб. – Харьков : НТУ "ХПИ", 2018. – Вып. 88. – С. 11-17.

item.page.endorsement

item.page.review

item.page.supplemented

item.page.referenced