Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/39131
Title: Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок методами скануючої зондової мікроскопії та спектроскопії
Authors: Хрипунов, Геннадій Семенович
Зайцев, Роман Валентинович
Хрипунова, Аліна Леонідівна
Кіріченко, Михайло Валерійович
Момотенко, Олександра Віталіївна
Keywords: мікроскопія зондова; сканер; обробка зображень; мікроскопія тунельна; мікроскопія атомно-силова; мікроскопія електросилова; мікроскопія магнітно-силова; спектроскопія рентгенівська; спектроскопія фотоелектронна; спектроскопія оже-електронна; спектроскопія розсіювання повільних іонів; дифракція повільних електронів
Issue Date: 2014
Publisher: Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Citation: Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок методами скануючої зондової мікроскопії та спектроскопії : навч. посібник : [у 2 т.]. Т. 2 / Г. С. Хрипунов [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т". – Харків : НТУ "ХПІ", 2014. – 198 с.
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/39131
Appears in Collections:Кафедра "Фізичне матеріалознавство для електроніки та геліоенергетики"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Book_2014_Khrypunov_Fizychne_materialoznavstvo_2.pdf7,36 MBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.