Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/40116
Title: Методичні вказівки до виконання курсових робіт з курсу "Хімічні технології мікроелектроніки" (для бакалаврів)
Authors: Клочко, Наталя Петрівна
Копач, Володимир Романович
Хрипунова, Аліна Леонідівна
Клєпікова, Катерина Сергіївна
Жадан, Дмитро Олегович
Keywords: електроліти; електроосадження металів; електрохімічне анодування; мікроелектроніка; курсова робота
Issue Date: 2019
Publisher: Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Citation: Методичні вказівки до виконання курсових робіт з курсу "Хімічні технології мікроелектроніки" : для студ. напрямку підгот. 153 "Мікро- та наносистемна техніка" / уклад. Н. П. Клочко [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т". – Харків : Друкарня Мадрид, 2019. – 75 с.
Abstract: Предметом навчальної дисципліни "Хімічні технології мікроелектроніки" є фізико-хімічні явища та процеси, на яких засновано виробництво напівпровідникових та діелектричних матеріалів, а також сучасні хімічні та фізико-хімічні технології металізації виробів мікро- та наноелектроніки і методи синтезу нанокристалів, які у сукупності складають основну матеріальну базу мікро- та наноелектроніки. Метою викладання дисципліни є оволодіння студентами теоретичнх знань та набуття практичних вмінь і навичок для реалізації хімічних технологій виробництва матеріалів і виробів мікро- та наноелектроніки. Зокрема, передбачається оволодіння теоретичними знаннями і практичними навичками з електрохімічних методів синтезу металічних нанокристалів, створення діелектричних оксидних покриттів, тонкоплівкових конденсаторів та інших інтегрованих тонкоплівкових приладів на основі анодних плівок, а також виготовлення тонких електропровідних металічних шарів, омічних та випрямляючих контактів для мікро- і наноелектронних застосувань включно, для інтегральних схем, приладів надвисокочастотної техніки, фотоелектричних перетворювачів та низки інших оптоелектронних приладів.
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/40116
Appears in Collections:Кафедра "Фізичне матеріалознавство для електроніки та геліоенергетики"
Кафедра природничих наук

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
prohramy_2019_Khim_tekhnol_mikroelektroniky.pdf2,03 MBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.