Методичні вказівки до виконання курсових робіт з курсу "Хімічні технології мікроелектроніки" (для бакалаврів)

Вантажиться...
Ескіз

Дата

ORCID

DOI

Науковий ступінь

Рівень дисертації

Шифр та назва спеціальності

Рада захисту

Установа захисту

Науковий керівник/консультант

Члени комітету

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"

Анотація

Предметом навчальної дисципліни "Хімічні технології мікроелектроніки" є фізико-хімічні явища та процеси, на яких засновано виробництво напівпровідникових та діелектричних матеріалів, а також сучасні хімічні та фізико-хімічні технології металізації виробів мікро- та наноелектроніки і методи синтезу нанокристалів, які у сукупності складають основну матеріальну базу мікро- та наноелектроніки. Метою викладання дисципліни є оволодіння студентами теоретичнх знань та набуття практичних вмінь і навичок для реалізації хімічних технологій виробництва матеріалів і виробів мікро- та наноелектроніки. Зокрема, передбачається оволодіння теоретичними знаннями і практичними навичками з електрохімічних методів синтезу металічних нанокристалів, створення діелектричних оксидних покриттів, тонкоплівкових конденсаторів та інших інтегрованих тонкоплівкових приладів на основі анодних плівок, а також виготовлення тонких електропровідних металічних шарів, омічних та випрямляючих контактів для мікро- і наноелектронних застосувань включно, для інтегральних схем, приладів надвисокочастотної техніки, фотоелектричних перетворювачів та низки інших оптоелектронних приладів.

Опис

Бібліографічний опис

Методичні вказівки до виконання курсових робіт з курсу "Хімічні технології мікроелектроніки" : для студ. напрямку підгот. 153 "Мікро- та наносистемна техніка" / уклад. Н. П. Клочко [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т". – Харків : Друкарня Мадрид, 2019. – 75 с.

Підтвердження

Рецензія

Додано до

Згадується в