Методичні вказівки до виконання курсових робіт з курсу "Хімічні технології мікроелектроніки" (для бакалаврів)
Вантажиться...
Дата
2019
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Предметом навчальної дисципліни "Хімічні технології мікроелектроніки" є фізико-хімічні явища та процеси, на яких засновано виробництво напівпровідникових та діелектричних матеріалів, а також сучасні хімічні та фізико-хімічні технології металізації виробів мікро- та наноелектроніки і методи синтезу нанокристалів, які у сукупності складають основну матеріальну базу мікро- та наноелектроніки. Метою викладання дисципліни є оволодіння студентами теоретичнх знань та набуття практичних вмінь і навичок для реалізації хімічних технологій виробництва матеріалів і виробів мікро- та наноелектроніки. Зокрема, передбачається оволодіння теоретичними знаннями і практичними навичками з електрохімічних методів синтезу металічних нанокристалів, створення діелектричних оксидних покриттів, тонкоплівкових конденсаторів та інших інтегрованих тонкоплівкових приладів на основі анодних плівок, а також виготовлення тонких електропровідних металічних шарів, омічних та випрямляючих контактів для мікро- і наноелектронних застосувань включно, для інтегральних схем, приладів надвисокочастотної техніки, фотоелектричних перетворювачів та низки інших оптоелектронних приладів.
Опис
Ключові слова
електроліти, електроосадження металів, електрохімічне анодування, мікроелектроніка, курсова робота
Бібліографічний опис
Методичні вказівки до виконання курсових робіт з курсу "Хімічні технології мікроелектроніки" : для студ. напрямку підгот. 153 "Мікро- та наносистемна техніка" / уклад. Н. П. Клочко [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т". – Харків : Друкарня Мадрид, 2019. – 75 с.