Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃

Ескіз

Дата

2014

ORCID

DOI

item.page.thesis.degree.name

item.page.thesis.degree.level

item.page.thesis.degree.discipline

item.page.thesis.degree.department

item.page.thesis.degree.grantor

item.page.thesis.degree.advisor

item.page.thesis.degree.committeeMember

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

Харківський національний університет ім. В. Н. Каразіна

Анотація

У статті розглянута ключова проблема безрідинного акустичного контролю металевих виро­бів та запропоноване новітнє рішення для дефектоскопії в умовах промислового виробницт­ва. Основною особливістю рішення є використання тонкоплівкових гнучких ємнісних пе­ретворювачів на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ загальною товщиною не більше 20 мкм. На підставі проведеного дослідження структурних та електричних властивостей шарів такої структури визначені оптимальні умови їх отримання для максимально ефективного використання у якості ємнісних перетворювачів. Створено дослідний зразок тонкоплівкового єм­нісного перетворювача для акустичного контролю металевих виробів на основі структури Al/ITO/поліімід/Al₂O₃. .
The article considers the key issue of metal parts liquid free acoustic control and proposed innovative solutions for defectoscopy in industrial production. The main feature of the solution is using flexible thin­film capacitive transducers based on the ITO/polyimide/Al₂O₃ structure with total thickness less than 20 microns. Based on the research of structural and electrical properties of layers with such stru cture it has been established the optimal conditions to maximize the efficiency of their using as capacitive transducers. A prototype of thin­film capacitive transducer for metal parts acoustic control on the basis of Al/ITO/polyimide/Al₂O₃ structure it has been manufactured.

Опис

Ключові слова

тонкоплівковий перетворювач, ємнісний метод, дефектоскопія металів, thin film converter, capacitive method, defectoscopy of metals

Бібліографічний опис

Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ / Л. В. Зайцева [та ін.] // Фізична інженерія поверхні = Physical surface engineering. – Харків : ХНУ ім. В. Н. Каразіна, 2014. – Т. 12, № 4. – С. 505-509.

item.page.endorsement

item.page.review

item.page.supplemented

item.page.referenced