Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/40491
Title: Дослідження структури ємнісних перетворювачів на основі тонкоплівкової структури Al/ITO/поліімід/Al₂O₃
Other Titles: Investigation of capacitive converters structure based on ITO/polyimide/Al₂O₃ thin-film composition
Authors: Зайцева, Лілія Василівна
Хрипунов, Геннадій Семенович
Зайцев, Роман Валентинович
Горкунов, Борис Митрофанович
Хрипунова, Аліна Леонідівна
Keywords: тонкоплівковий перетворювач; ємнісний метод; дефектоскопія металів; thin film converter; capacitive method; defectoscopy of metals
Issue Date: 2015
Publisher: Одеський національний університет ім. І. І. Мeчникова
Citation: Дослідження структури ємнісних перетворювачів на основі тонкоплівкової структури Al/ITO/поліімід/Al₂O₃ / Л. В. Зайцева [та ін.] // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології = Sensor electronics and microsystem technologies. – Одеса : ОНУ ім. І. І. Мечникова, 2015. – Т. 12, № 2. – С. 42-47.
Abstract: У статті розглянута ключова проблема безрідинного акустичного контролю металевих виробів та запропоноване новітнє рішення для дефектоскопії в умовах промислового виробництва. Основною особливістю рішення є використання тонкоплівкових гнучких шарів у ємнісних перетворювачах на основі структури Al/ITO/поліімід/Al₂O₃ загальною товщиною не більше 20 мкм. На підставі проведеного дослідження структурних та електричних властивостей шарів такої структури визначені оптимальні умови їх отримання для максимально ефективного використання у якості ємнісних перетворювачів. Створено дослідний зразок тонкоплівкового ємнісного перетворювача для акустичного контролю металевих виробів на основі структури Al/ITO/поліімід/Al₂O₃.
The article considers the key issue of metal parts liquid free acoustic control and proposed innovative solutions for defectoscopy in industrial production. The main feature of the solution is using flexible thin-film capacitive transducers based on the ITO/polyimide/Al₂O₃ structure with total thickness less than 20 microns. Based on the research of structural and electrical properties of layers with such structure it has been established the optimal conditions to maximize the efficiency of their using as capacitive transducers. A prototype of thin-film capacitive transducer for metal parts acoustic control on the basis of Al/ITO/polyimide/Al₂O₃ composition it has been manufactured.
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/40491
Appears in Collections:Кафедра "Фізичне матеріалознавство для електроніки та геліоенергетики"
Кафедра "Інформаційно-вимірювальні технології і системи"
Кафедра природничих наук

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
SEMT_2015_12_2_Zaitseva_Doslidzhennia.pdf653,29 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.