Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4745
Title: Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния
Authors: Журавель, Игорь Александрович
Бугаев, Егор Анатольевич
Девизенко, Александр Юрьевич
Першин, Юрий Павлович
Кондратенко, Валерий Владимирович
Keywords: функция плотности; спектральная мощность; шероховатость; многослойные пленки; диффузионное перемешивание; power spectral; density function; X-ray diffuse scattering; roughness; multilayered films; diffusive mixing
Issue Date: 2011
Publisher: Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина; Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины
Citation: Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния / И. А. Журавель [и др.] // Физическая инженерия поверхности. – 2011. – № 2, т. 9 – С. 134-141.
Abstract: Методом рентгеновского диффузного рассеяния на длине волны 0,154 нм проведено исследование шероховатости и перемешивания на границах раздела многослойных пленочных композиций Cr/Sc и Co/C с периодами ~ 5 – 7 нм, полученных методом магнетронного распыления. Исследовано влияние на структуру границ раздела композиций Co/C часового отжига в интервале температур 100 – 330 °С. Полученные статистические характеристики шероховатости границ раздела позволяют предсказать рентгенооптические характеристики многослойных композиций, применяемых в рентгеновской оптике в диапазоне длин волн 3 – 5 нм.
Study of the interface roughness and diffuseness of the Cr/Sc and Co/C multilayer with ~ 5 – 7 nm the periods on 0,154 wavelength obtained by DC magnetron sputtering has been conducted by X-ray diffuse scattering method. Influence of hour time annealing in 100 – 330 °С temperature range on the Co/C interface structure has been established. Obtained statistical characteristics of interface roughness are useful to forecast X-ray optic characteristics of multilayers using in X-ray optics in 3 – 5 nm wavelength range.
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4745
Appears in Collections:Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2011_Zhuravel_Issledovaniye_struktury.pdf301,07 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.