Please use this identifier to cite or link to this item:
http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4745| Title: | Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния |
| Authors: | Журавель, Игорь Александрович Бугаев, Егор Анатольевич Девизенко, Александр Юрьевич Першин, Юрий Павлович Кондратенко, Валерий Владимирович |
| Keywords: | функция плотности; спектральная мощность; шероховатость; многослойные пленки; диффузионное перемешивание; power spectral; density function; X-ray diffuse scattering; roughness; multilayered films; diffusive mixing |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина; Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины |
| Citation: | Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния / И. А. Журавель [и др.] // Физическая инженерия поверхности. – 2011. – № 2, т. 9 – С. 134-141. |
| Abstract: | Методом рентгеновского диффузного рассеяния на длине волны 0,154 нм проведено исследование шероховатости и перемешивания на границах раздела многослойных пленочных композиций Cr/Sc и Co/C с периодами ~ 5 – 7 нм, полученных методом магнетронного распыления. Исследовано влияние на структуру границ раздела композиций Co/C часового отжига в интервале температур 100 – 330 °С. Полученные статистические характеристики шероховатости границ раздела позволяют предсказать рентгенооптические характеристики многослойных композиций, применяемых в рентгеновской оптике в диапазоне длин волн 3 – 5 нм. Study of the interface roughness and diffuseness of the Cr/Sc and Co/C multilayer with ~ 5 – 7 nm the periods on 0,154 wavelength obtained by DC magnetron sputtering has been conducted by X-ray diffuse scattering method. Influence of hour time annealing in 100 – 330 °С temperature range on the Co/C interface structure has been established. Obtained statistical characteristics of interface roughness are useful to forecast X-ray optic characteristics of multilayers using in X-ray optics in 3 – 5 nm wavelength range. |
| URI: | http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4745 |
| Appears in Collections: | Кафедра "Фізика металів і напівпровідників" |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 2011_Zhuravel_Issledovaniye_struktury.pdf | 301,07 kB | Adobe PDF |  View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.