Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния

Вантажиться...
Ескіз

Дата

ORCID

DOI

Науковий ступінь

Рівень дисертації

Шифр та назва спеціальності

Рада захисту

Установа захисту

Науковий керівник/консультант

Члени комітету

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина; Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины

Анотація

Методом рентгеновского диффузного рассеяния на длине волны 0,154 нм проведено исследование шероховатости и перемешивания на границах раздела многослойных пленочных композиций Cr/Sc и Co/C с периодами ~ 5 – 7 нм, полученных методом магнетронного распыления. Исследовано влияние на структуру границ раздела композиций Co/C часового отжига в интервале температур 100 – 330 °С. Полученные статистические характеристики шероховатости границ раздела позволяют предсказать рентгенооптические характеристики многослойных композиций, применяемых в рентгеновской оптике в диапазоне длин волн 3 – 5 нм.
Study of the interface roughness and diffuseness of the Cr/Sc and Co/C multilayer with ~ 5 – 7 nm the periods on 0,154 wavelength obtained by DC magnetron sputtering has been conducted by X-ray diffuse scattering method. Influence of hour time annealing in 100 – 330 °С temperature range on the Co/C interface structure has been established. Obtained statistical characteristics of interface roughness are useful to forecast X-ray optic characteristics of multilayers using in X-ray optics in 3 – 5 nm wavelength range.

Опис

Бібліографічний опис

Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния / И. А. Журавель [и др.] // Физическая инженерия поверхности. – 2011. – № 2, т. 9 – С. 134-141.

Підтвердження

Рецензія

Додано до

Згадується в