Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4750
Title: Срезанные линейные зонные пластинки для жесткого рентгеновского излучения
Authors: Артюков, И. А.
Бурцев, В. А.
Виноградов, А. В.
Девизенко, Александр Юрьевич
Калинин, Н. В.
Копылец, Игорь Анатольевич
Кондратенко, Валерий Владимирович
Пуха, Владимир Егорович
Савицкий, Борис Андреевич
Фещенко, Р. М.
Keywords: численное моделирование; магнетронное распыление; зонные пластинки; многослойные покрытия; срезы
Issue Date: 2012
Publisher: Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН
Citation: Срезанные линейные зонные пластинки для жесткого рентгеновского излучения / И. А. Артюков, В. А. Бурцев, А. В. Виноградов и др. // Журнал технической физики. – 2012. – Вып. 9, т. 82. – С. 101-106.
Abstract: Рассмотрены линейные зонные пластинки для жесткого (E > 10 keV) рентгеновского излучения на основе срезов многослойных покрытий W5Si3/Si, изготовленных методом магнетронного распыления. Из численных расчетов следует, что эта пара материалов обеспечивает высокую эффективность в первом и втором порядках дифракции. Экспериментально установлено, что возможен синтез многослойных структур высокого качества, содержащих сотни слоев на кремниевых и стеклянных подложках. Показано, что их срезы могут быть получены путем ионного травления многослойного покрытия через маску
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4750
Appears in Collections:Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2012_Artyukov_Srezannyye_lineynyye.pdf1,11 MBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.