Срезанные линейные зонные пластинки для жесткого рентгеновского излучения
Вантажиться...
Дата
2012
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН
Анотація
Рассмотрены линейные зонные пластинки для жесткого (E > 10 keV) рентгеновского излучения на основе срезов многослойных покрытий W5Si3/Si, изготовленных методом магнетронного распыления. Из численных расчетов следует, что эта пара материалов обеспечивает высокую эффективность в первом и втором порядках дифракции. Экспериментально установлено, что возможен синтез многослойных структур высокого качества, содержащих сотни слоев на кремниевых и стеклянных подложках. Показано, что их срезы могут быть получены путем ионного травления многослойного покрытия через маску
Опис
Ключові слова
численное моделирование, магнетронное распыление, зонные пластинки, многослойные покрытия, срезы
Бібліографічний опис
Срезанные линейные зонные пластинки для жесткого рентгеновского излучения / И. А. Артюков, В. А. Бурцев, А. В. Виноградов и др. // Журнал технической физики. – 2012. – Вып. 9, т. 82. – С. 101-106.