Срезанные линейные зонные пластинки для жесткого рентгеновского излучения
Дата
2012
ORCID
DOI
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН
Анотація
Рассмотрены линейные зонные пластинки для жесткого (E > 10 keV) рентгеновского излучения на основе срезов многослойных покрытий W5Si3/Si, изготовленных методом магнетронного распыления. Из численных расчетов следует, что эта пара материалов обеспечивает высокую эффективность в первом и втором порядках дифракции. Экспериментально установлено, что возможен синтез многослойных структур высокого качества, содержащих сотни слоев на кремниевых и стеклянных подложках. Показано, что их срезы могут быть получены путем ионного травления многослойного покрытия через маску
Опис
Ключові слова
численное моделирование, магнетронное распыление, зонные пластинки, многослойные покрытия, срезы
Бібліографічний опис
Срезанные линейные зонные пластинки для жесткого рентгеновского излучения / И. А. Артюков, В. А. Бурцев, А. В. Виноградов и др. // Журнал технической физики. – 2012. – Вып. 9, т. 82. – С. 101-106.