Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/51829
Title: Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання
Authors: Клєпікова, Катерина Сергіївна
Копач, Володимир Романович
Клочко, Наталя Петрівна
Кіріченко, Михайло Валерійович
Зайцев, Роман Валентинович
Хрипунов, Геннадій Семенович
Любов, Віктор Миколаєвич
Keywords: патент; корисна модель; наноструктурованний масив; електроосадження; імпульсний режим; температура
Issue Date: 2016
Publisher: ДП "Український інститут інтелектуальної власності"
Citation: Пат. на корисну модель 108516 Україна, МПК (2016.01) C25B 1/00 B82Y 40/00. Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання / Клєпікова К. С., Копач В. Р., Клочко Н. П., Кіріченко М. В., Зайцев Р. В., Хрипунов Г. С., Любов В. М. ; власник НТУ "ХПІ" (Україна). – № u 2015 12319 ; заявл. 14.12.2015 ; опубл. 25.07.2016, Бюл. № 14. – 7 с.
Abstract: Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання на основі наноструктурованих масивів цинк оксиду із конфігурацією шарів "провідна підкладка|наноZnO|тильний контакт". Формування наноструктурованих масивів ZnO здійснюють технологією електроосадження в імпульсному режимі із подальшим відпалом на повітрі при температурі 240-260 °C протягом 3-6 хв. Тильні контакти виконані у вигляді плівки алюмінію, сформованої вакуумним осадженням на верхніх торцях наноструктурованих масивів ZnO шляхом випаровування Al під кутом 65-75° від нормалі до підкладки. Освітлення здійснюють зі сторони підкладки з прозорого для ультрафіолету скла, вкритого прозорою для УФ електропровідною плівкою.
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/51829
Appears in Collections:Кафедра "Фізичне матеріалознавство для електроніки та геліоенергетики"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2016_Kliepikova_Patent_108516.pdf280,27 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.