Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/5631
Title: Повышение точности прецизионного планарного электропривода
Other Titles: Accuracy enhancement for precision planar electric drive.
Authors: Тяпкин, М. Г.
Keywords: полупроводниковая промышленность; миниатюризация компонентов; координатная система движения; лазерные интерферометры; калибровка электропривода; эталонный датчик
Issue Date: 2013
Publisher: НТУ "ХПИ"
Citation: Тяпкин М. Г. Повышение точности прецизионного планарного электропривода / М. Г. Тяпкин // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Проблемы автоматизированного электропривода. – Харьков : НТУ "ХПИ". – 2013. – № 36 (1009). – С. 232-233.
Abstract: Планарный электропривод получил широкое применение в устройствах, требующих высокой точности и скорости перемещения в плоскости XY. Повышение точности планарного электропривода является перспективной задачей в связи с ростом точностных требований микроэлектронной промышленности. Двухуровневая калибровка планарного электропривода позволяет при минимальных размерах калибровочных таблиц повысить точность электропривода более чем в 3 раза до уровня ±2.5 мкм.
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/5631
Appears in Collections:Вісник № 36

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
vestnik_HPI_2013_36_Tyapkin_Povysheniye tochnosti.pdf110,3 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.