Please use this identifier to cite or link to this item:
http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/5631| Title: | Повышение точности прецизионного планарного электропривода |
| Other Titles: | Accuracy enhancement for precision planar electric drive. |
| Authors: | Тяпкин, М. Г. |
| Keywords: | полупроводниковая промышленность; миниатюризация компонентов; координатная система движения; лазерные интерферометры; калибровка электропривода; эталонный датчик |
| Issue Date: | 2013 |
| Publisher: | НТУ "ХПИ" |
| Citation: | Тяпкин М. Г. Повышение точности прецизионного планарного электропривода / М. Г. Тяпкин // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Проблемы автоматизированного электропривода. – Харьков : НТУ "ХПИ". – 2013. – № 36 (1009). – С. 232-233. |
| Abstract: | Планарный электропривод получил широкое применение в устройствах, требующих высокой точности и скорости перемещения в плоскости XY. Повышение точности планарного электропривода является перспективной задачей в связи с ростом точностных требований микроэлектронной промышленности. Двухуровневая калибровка планарного электропривода позволяет при минимальных размерах калибровочных таблиц повысить точность электропривода более чем в 3 раза до уровня ±2.5 мкм. |
| URI: | http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/5631 |
| Appears in Collections: | Вісник № 36 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| vestnik_HPI_2013_36_Tyapkin_Povysheniye tochnosti.pdf | 110,3 kB | Adobe PDF |  View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.