Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/5631
Назва: Повышение точности прецизионного планарного электропривода
Інші назви: Accuracy enhancement for precision planar electric drive.
Автори: Тяпкин, М. Г.
Ключові слова: полупроводниковая промышленность; миниатюризация компонентов; координатная система движения; лазерные интерферометры; калибровка электропривода; эталонный датчик
Дата публікації: 2013
Видавництво: НТУ "ХПИ"
Бібліографічний опис: Тяпкин М. Г. Повышение точности прецизионного планарного электропривода / М. Г. Тяпкин // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Проблемы автоматизированного электропривода. – Харьков : НТУ "ХПИ". – 2013. – № 36 (1009). – С. 232-233.
Короткий огляд (реферат): Планарный электропривод получил широкое применение в устройствах, требующих высокой точности и скорости перемещения в плоскости XY. Повышение точности планарного электропривода является перспективной задачей в связи с ростом точностных требований микроэлектронной промышленности. Двухуровневая калибровка планарного электропривода позволяет при минимальных размерах калибровочных таблиц повысить точность электропривода более чем в 3 раза до уровня ±2.5 мкм.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/5631
Розташовується у зібраннях:Вісник № 36

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
vestnik_HPI_2013_36_Tyapkin_Povysheniye tochnosti.pdf110,3 kBAdobe PDFЕскіз
Відкрити
Показати повний опис матеріалу Перегляд статистики  Google Scholar



Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.