Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer
Вантажиться...
Дата
2018
ORCID
DOI
doi.org/10.15407/fm25.04.729
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
STC "Institute for Single Crystals"
Анотація
Опис
Ключові слова
multilayer, magnetron, zone plate, mechanical stresses, crystalszation, багатошарові покриття, магнетрон, зонна плита, механічні напруги, кристалізація
Бібліографічний опис
Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer / A.Yu. Devizenko [et al.] // Functional Materials. – 2018. – V. 25, No 4. – P. 729-735.