Please use this identifier to cite or link to this item:
Title: Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer
Other Titles: Структура та механічні напруження у багатошаровому покритті TaSi 2 /Si
Authors: Devizenko, A. Yu.
Kopylets, I. A.
Kondratenko, V. V.
Pershyn, Yuriy P.
Zubarev, Evgeniy N.
Savitskiy, B. A.
Devizenko, I. Y.
Keywords: multilayer; magnetron; zone plate; mechanical stresses; crystalszation; багатошарові покриття; магнетрон; зонна плита; механічні напруги; кристалізація
Issue Date: 2018
Publisher: STC "Institute for Single Crystals"
Citation: Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer / A.Yu. Devizenko [et al.] // Functional Materials. – 2018. – V. 25, No 4. – P. 729-735.
Appears in Collections:Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
FM_2018_25_4_Devizenko_Structure_and_mechanical.pdf574,71 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record  Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.