Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57479
Название: Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer
Другие названия: Структура та механічні напруження у багатошаровому покритті TaSi 2 /Si
Авторы: Devizenko, A. Yu.
Kopylets, I. A.
Kondratenko, V. V.
Pershyn, Yuriy P.
Zubarev, Evgeniy N.
Savitskiy, B. A.
Devizenko, I. Y.
Ключевые слова: multilayer; magnetron; zone plate; mechanical stresses; crystalszation; багатошарові покриття; магнетрон; зонна плита; механічні напруги; кристалізація
Дата публикации: 2018
Издательство: STC "Institute for Single Crystals"
Библиографическое описание: Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer / A.Yu. Devizenko [et al.] // Functional Materials. – 2018. – V. 25, No 4. – P. 729-735.
DOI: doi.org/10.15407/fm25.04.729
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57479
Располагается в коллекциях:Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
FM_2018_25_4_Devizenko_Structure_and_mechanical.pdf574,71 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики  Google Scholar



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.