Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer

Файли

FM_2018_25_4_Devizenko_Structure_and_mechanical.pdf (574.71 KB)

Дата

Автори

Devizenko, A. Yu.

Kopylets, I. A.

Kondratenko, V. V.

Pershyn, Yuriy P.

Zubarev, Evgeniy N.

Savitskiy, B. A.

Devizenko, I. Y.

DOI

https://doi.org/10.15407/fm25.04.729

Видавець

STC "Institute for Single Crystals"

Ключові слова

multilayer, magnetron, zone plate, mechanical stresses, crystalszation, багатошарові покриття, магнетрон, зонна плита, механічні напруги, кристалізація

Бібліографічний опис

Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer / A.Yu. Devizenko [et al.] // Functional Materials. – 2018. – V. 25, No 4. – P. 729-735.

URI

https://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57479

Колекції

Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"

Повна інформація про документ
Google Scholar