Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57479
Назва: Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer
Інші назви: Структура та механічні напруження у багатошаровому покритті TaSi 2 /Si
Автори: Devizenko, A. Yu.
Kopylets, I. A.
Kondratenko, V. V.
Pershyn, Yuriy P.
Zubarev, Evgeniy N.
Savitskiy, B. A.
Devizenko, I. Y.
Ключові слова: multilayer; magnetron; zone plate; mechanical stresses; crystalszation; багатошарові покриття; магнетрон; зонна плита; механічні напруги; кристалізація
Дата публікації: 2018
Видавництво: STC "Institute for Single Crystals"
Бібліографічний опис: Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer / A.Yu. Devizenko [et al.] // Functional Materials. – 2018. – V. 25, No 4. – P. 729-735.
DOI: doi.org/10.15407/fm25.04.729
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57479
Розташовується у зібраннях:Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
FM_2018_25_4_Devizenko_Structure_and_mechanical.pdf574,71 kBAdobe PDFВідкрити
Показати повний опис матеріалу Перегляд статистики  Google Scholar



Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.