Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57479| Назва: | Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer |
| Інші назви: | Структура та механічні напруження у багатошаровому покритті TaSi 2 /Si |
| Автори: | Devizenko, A. Yu. Kopylets, I. A. Kondratenko, V. V. Pershyn, Yuriy P. Zubarev, Evgeniy N. Savitskiy, B. A. Devizenko, I. Y. |
| Ключові слова: | multilayer; magnetron; zone plate; mechanical stresses; crystalszation; багатошарові покриття; магнетрон; зонна плита; механічні напруги; кристалізація |
| Дата публікації: | 2018 |
| Видавництво: | STC "Institute for Single Crystals" |
| Бібліографічний опис: | Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer / A.Yu. Devizenko [et al.] // Functional Materials. – 2018. – V. 25, No 4. – P. 729-735. |
| DOI: | doi.org/10.15407/fm25.04.729 |
| URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57479 |
| Розташовується у зібраннях: | Кафедра "Фізика металів і напівпровідників" |
Файли цього матеріалу:
| Файл | Опис | Розмір | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| FM_2018_25_4_Devizenko_Structure_and_mechanical.pdf | 574,71 kB | Adobe PDF | Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.