Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer
Дата
2018
ORCID
DOI
doi.org/10.15407/fm25.04.729
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
STC "Institute for Single Crystals"
Анотація
Опис
Ключові слова
multilayer, magnetron, zone plate, mechanical stresses, crystalszation, багатошарові покриття, магнетрон, зонна плита, механічні напруги, кристалізація
Бібліографічний опис
Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer / A.Yu. Devizenko [et al.] // Functional Materials. – 2018. – V. 25, No 4. – P. 729-735.