Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/58011
Title: Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання на основі наноструктур із оксиду цинку і срібла
Authors: Клочко, Наталя Петрівна
Копач, Володимир Романович
Клєпікова, Катерина Сергіївна
Хрипунов, Геннадій Семенович
Корсун, Валерія Євгеніївна
Кіріченко, Михайло Валерійович
Любов, Віктор Миколаєвич
Keywords: патент; корисна модель; хімічні реакції; електрична енергія; імпульси; фотодетектори; електропровідна плівка
Issue Date: 2018
Publisher: ДП "Український інститут інтелектуальної власності"
Citation: Пат. на корисну модель 127153 Україна, МПК (2018.01) H01L 31/00 H01G 9/26 (2006.01) B82Y 40/00. Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання на основі наноструктур із оксиду цинку і срібла / Клочко Н. П., Копач В. Р., Клєпікова К. С., Хрипунов Г. С., Корсун В. Є., Кіріченко М. В., Любов В. М. ; власник НТУ "ХПІ" (Україна). – № u 2017 11611 ; заявл. 27.11.2017 ; опубл. 25.07.2018, Бюл. № 14. – 10 с. : іл.
Abstract: Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання на основі наноструктур із вкритих наночастинками срібла (HЧAg) масивів нанострижнів оксиду цинку (1-DZnO) із конфігурацією шарів "провідна підкладка|(НЧА@1-DZnO)|тильний контакт". При цьому формування наноструктурованих масивів нанострижнів ZnO здійснюють електроосадженням в імпульсному режимі, а для нанесення наночастинок срібла на поверхню ZnO використовують срібний золь. Контакти виготовляють із плівок алюмінію, які формують за допомогою вакуумного осадження Аl із застосуванням тіньової маски на провідній підкладці і на верхніх торцях вкритих HЧAg наноструктурованих масивів нанострижнів ZnO (тильний контакт) шляхом вакуумного випаровування алюмінію під кутом 65-75° від нормалі до підкладки. Освітлення здійснюють з боку підкладки із прозорого для ближнього ультрафіолетового випромінювання (БУФВ) скла, вкритого прозорою для БУФВ електропровідною плівкою.
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/58011
Appears in Collections:Кафедра "Мікро- та наноелектроніка"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2018_Klochko_Patent_127153.pdf357,64 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.