Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання на основі наноструктур із оксиду цинку і срібла
Вантажиться...
Дата
2018
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
ДП "Український інститут інтелектуальної власності"
Анотація
Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання на основі наноструктур із вкритих наночастинками срібла (HЧAg) масивів нанострижнів оксиду цинку (1-DZnO) із конфігурацією шарів "провідна підкладка|(НЧА@1-DZnO)|тильний контакт". При цьому формування наноструктурованих масивів нанострижнів ZnO здійснюють електроосадженням в імпульсному режимі, а для нанесення наночастинок срібла на поверхню ZnO використовують срібний золь. Контакти виготовляють із плівок алюмінію, які формують за допомогою вакуумного осадження Аl із застосуванням тіньової маски на провідній підкладці і на верхніх торцях вкритих HЧAg наноструктурованих масивів нанострижнів ZnO (тильний контакт) шляхом вакуумного випаровування алюмінію під кутом 65-75° від нормалі до підкладки. Освітлення здійснюють з боку підкладки із прозорого для ближнього ультрафіолетового випромінювання (БУФВ) скла, вкритого прозорою для БУФВ електропровідною плівкою.
Опис
Ключові слова
патент, корисна модель, хімічні реакції, електрична енергія, імпульси, фотодетектори, електропровідна плівка
Бібліографічний опис
Пат. на корисну модель 127153 Україна, МПК (2018.01) H01L 31/00 H01G 9/26 (2006.01) B82Y 40/00. Спосіб виготовлення детектора ультрафіолетового випромінювання на основі наноструктур із оксиду цинку і срібла / Клочко Н. П., Копач В. Р., Клєпікова К. С., Хрипунов Г. С., Корсун В. Є., Кіріченко М. В., Любов В. М. ; власник НТУ "ХПІ" (Україна). – № u 2017 11611 ; заявл. 27.11.2017 ; опубл. 25.07.2018, Бюл. № 14. – 10 с. : іл.