Crystals growth in amorphous films of Ta₂O₅

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2022

ORCID

DOI

Науковий ступінь

Рівень дисертації

Шифр та назва спеціальності

Рада захисту

Установа захисту

Науковий керівник

Члени комітету

Видавець

Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"

Анотація

Опис

Ключові слова

crystals growth, amorphous films, pulsed laser sputtering, electron beam irradiation, crystallization, electron microscopic investigations, crystallization modes, layer polymorphous crystallization, single crystal, interjacent crystallization, disoriented crystals, island polymorphic crystallization, polycrystalline film, ріст кристалів, аморфні плівки, імпульсне лазерне розпилення, електронне опромінення, кристалізація, електронно-мікроскопічні дослідження, режими кристалізації, пошарова поліморфна кристалізація, монокристал, міжперехідна кристалізація, дезорієнтовані кристали, острівна поліморфна кристалізація, полікристалічна плівка

Бібліографічний опис

Crystals growth in amorphous films of Ta₂O₅ / A. G. Bagmut, I. A. Bagmut, G. P. Nikolaychuk, N. Resnik, A. V. Taran // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : тези доп. 30-ї Міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD-2022, 19-21 жовтня 2022 р. / ред. Є. І. Сокол ; уклад. Г. В. Лісачук. – Харків : НТУ "ХПІ", 2022. – С. 333.