Crystals growth in amorphous films of Ta₂O₅
Дата
2022
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
crystals growth, amorphous films, pulsed laser sputtering, electron beam irradiation, crystallization, electron microscopic investigations, crystallization modes, layer polymorphous crystallization, single crystal, interjacent crystallization, disoriented crystals, island polymorphic crystallization, polycrystalline film, ріст кристалів, аморфні плівки, імпульсне лазерне розпилення, електронне опромінення, кристалізація, електронно-мікроскопічні дослідження, режими кристалізації, пошарова поліморфна кристалізація, монокристал, міжперехідна кристалізація, дезорієнтовані кристали, острівна поліморфна кристалізація, полікристалічна плівка
Бібліографічний опис
Crystals growth in amorphous films of Ta₂O₅ / A. G. Bagmut, I. A. Bagmut, G. P. Nikolaychuk, N. Resnik, A. V. Taran // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : тези доп. 30-ї Міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD-2022, 19-21 жовтня 2022 р. / ред. Є. І. Сокол ; уклад. Г. В. Лісачук. – Харків : НТУ "ХПІ", 2022. – С. 333.