Плёнки нанокристаллического SiC в качестве функциональных слоёв газовых сенсоров
Вантажиться...
Дата
2018
Автори
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
газовый сенсор, полупроводниковый датчик детектирования, полупроводниковые материалы, мультисенсор, слои нанокристаллического SiC
Бібліографічний опис
Любов Д. В. Плёнки нанокристаллического SiC в качестве функциональных слоёв газовых сенсоров / Д. В. Любов, А. В. Семёнов // XII Міжнародна науково-практична конференція магістрантів та аспірантів : матеріали конф., 17-20 квітня 2018 р. : у 3 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" [та ін.]. – Харків : НТУ "ХПІ", 2018. – С. 215-216.