Плёнки нанокристаллического SiC в качестве функциональных слоёв газовых сенсоров

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЛюбов, Д. В.
dc.contributor.authorСемёнов, А. В.
dc.date.accessioned2024-03-16T17:13:06Z
dc.date.available2024-03-16T17:13:06Z
dc.date.issued2018
dc.identifier.citationЛюбов Д. В. Плёнки нанокристаллического SiC в качестве функциональных слоёв газовых сенсоров / Д. В. Любов, А. В. Семёнов // XII Міжнародна науково-практична конференція магістрантів та аспірантів : матеріали конф., 17-20 квітня 2018 р. : у 3 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" [та ін.]. – Харків : НТУ "ХПІ", 2018. – С. 215-216.
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/75638
dc.language.isoru
dc.publisherНаціональний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
dc.subjectгазовый сенсор
dc.subjectполупроводниковый датчик детектирования
dc.subjectполупроводниковые материалы
dc.subjectмультисенсор
dc.subjectслои нанокристаллического SiC
dc.titleПлёнки нанокристаллического SiC в качестве функциональных слоёв газовых сенсоров
dc.typeArticle

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Lyubov_Plenki_nanokristallicheskogo_2018.pdf
Розмір:
616.56 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.28 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

XII Міжнародна науково-практична конференція магістрантів та аспірантів. 2018