Исследование функциональных свойств золотых гальванопокрытий корпусов интегральных микросхем в зависимости от кинетических условий осаждения

Abstract

Исследовано прочность ультразвуковой микросварки и пайки функциональных покрытий золота, в зависимости от разности кинетических условий электроосаждения из комплексного фосфатного электролита на основе комплекса [Au(CN)₂]⁻. Установлено, что осаждение в диапазоне смешанной кинетики (плотность тока 0,5 А дм⁻²) позволяет увеличить прочность микросварных соединений до 12 сН при условии полного отсутствия дефектных соединений при их автоматической разварки. Исследования механической прочности паяных соединений на золотых покрытиях корпусов ІС типа 401.14-5 после термостарения в течении 1000 часов при температуре 150 °С позволил сделать взвод о том, что потеря мощности соединений в меньшей мере происходит для плотноупакованных мелкокристаллических покрытий, полученных осаждением при потенциалах, отвечающих диапазону смешанной кинетики.

Research strength ultrasonic microwelding and soldering functional coatings of gold, depending on various kinetic conditions electrodeposition complex phosphate-based electrolyte complex [Au(CN)₂]⁻.