Розробка пристроїв на ПАХ для вимірювання лінійних та кутових переміщень. Частина 1

Abstract

Розглядаються вимірювальні перетворювачі (ВП) на поверхневих акустичних хвилях (ПАХ) для вимірювання лінійних та кутових переміщень з формуванням точної, проміжної та грубої шкал на основі фазового набігання ПАХ на різних частотах. Описані конструктивні особливості складових елементів перетворювачів. Для демонстрації метрологічної цінності розроблених ВП приведені результати розрахунків чутливості, похибок, роздільної здатності та інших метрологічних параметрів. Результати описаних підходів вимірювання фазового зсуву можуть бути використані для подальшого проектування прецизійних пристроїв та систем позиціонування, а також перетворювачів з широким динамічним діапазоном лінійних та кутових надмалих переміщень.