Адсорбційні зміни на поверхні стінок пор поруватого кремнію в процесі високотемпературного старіння: комп’ютерне моделювання

Abstract

Досліджуються зміни в атомній будові поверхні стінок пор поруватого кремнію з кисневим адсорбентом при підвищенні температури від 300 K до 1200 K статистичним методом Монте-Карло. Активні перебудови починаються з температур порядку 500 K. Перебудови, що відповідають плавленню – з температури 1100 K.

Alterations in the atomic arrangement of the surface of the pore walls of the porous silicon with oxygen adsorbent under raising temperature from 300 K to 1200 K are studied by the statistic Monte-Carlo method. Active atomic reconstructions are began off 500 K. Atomic reconstructions that corresponding to melting are began off 1100 K.