Контроль геометричних розмірів зондів для атомно-силової мікроскопії інформаційно-вимірювальною системою

Abstract

В роботі описано принцип побудови інформаційно-вимірювальної системи, яка основана на базі оптичного мікроскопу й передавальної камери типу Novus NVC-130BH а також її налаштувань, визначення характеристик та їх робочих діапазонів. Експериментальні дослідження визначення геометричних розмірів та дефектів зондів атомного-силового мікроскопу NanoEducator (виробник NT-MDT Spectrum Instruments Ltd) інформаційно-вимірювальною системою показали, що розмір дефектів у виготовлених зондах становить 1 мкм.

This paper describes the principle of information measuring system, which is based at the optical microscope and transmission camera type Novus NVC-130BH. It was determined the operating range of signal lighting system characteristics, established experimentally. Determined modulation transfer function that is associated with the quality of the frontiers probe atomic force microscope. It produced probes for atomic force microscope by electrochemical etching of a wolfram wire in a medium of sodium hydroxide. Experimental researches determining the geometric dimensions and defects probe of atomic force microscope NanoEducator (producer NT-MDT Spectrum Instruments Ltd) by information-measuring system is revealed that the size of defects in the produced probes is 1 micron.