Контроль геометричних розмірів зондів для атомно-силової мікроскопії інформаційно-вимірювальною системою

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorМаркін, Максим Олександровичuk
dc.contributor.authorМаркіна, Ольга Миколаївнаuk
dc.contributor.authorКущовий, Сергій Миколайовичuk
dc.contributor.authorБутенко, Катерина Олександрівнаuk
dc.date.accessioned2017-05-19T09:35:17Z
dc.date.available2017-05-19T09:35:17Z
dc.date.issued2016
dc.description.abstractВ роботі описано принцип побудови інформаційно-вимірювальної системи, яка основана на базі оптичного мікроскопу й передавальної камери типу Novus NVC-130BH а також її налаштувань, визначення характеристик та їх робочих діапазонів. Експериментальні дослідження визначення геометричних розмірів та дефектів зондів атомного-силового мікроскопу NanoEducator (виробник NT-MDT Spectrum Instruments Ltd) інформаційно-вимірювальною системою показали, що розмір дефектів у виготовлених зондах становить 1 мкм.uk
dc.identifier.citationКонтроль геометричних розмірів зондів для атомно-силової мікроскопії інформаційно-вимірювальною системою / М. О. Маркін [та ін.] // Вісник Нац. техн. ун-ту "ХПІ" : зб. наук. пр. Сер. : Механіко-технологічні системи та комплекси. – Харків : НТУ "ХПІ", 2016. – № 50 (1222). – С. 90-94.uk
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/29505
dc.language.isouk
dc.publisherНТУ "ХПІ"uk
dc.subjectзонд атомно-силового мікроскопаuk
dc.subjectконтрастuk
dc.subjectштрихова міраuk
dc.subjectдефектuk
dc.titleКонтроль геометричних розмірів зондів для атомно-силової мікроскопії інформаційно-вимірювальною системоюuk
dc.title.alternativeControl of geometric sizes atomic force microscopy probe for information-measuring systemen
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
vestnik_KhPI_2016_50_Markin_Kontrol.pdf
Розмір:
606,48 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
11,21 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Вісник № 50