Осаждение качественного равнотолщинного вакуумно-дугового покрытия на твердосплавный режущий инструмент при обработке больших партий

Abstract

Предложена схема технологического устройства для осаждения качественного равнотолщинного вакуумно-дугового покрытия на твердосплавный режущий инструмент при обработке больших партий на подложках диаметром до 400 мм. Управление потоками плазмы вакуумно-дугового источника осуществляется путем создания системы магнитных ловушек на пути распространения потока плазмы, а для ионной очистки и предварительного разогрева изделий используется магнетронный разряд. Управляющие магнитные поля создаются системой электромагнитов, размещенных под подложкой.

A scheme of technological setup to deposit qualitative even-thickness vacuum-arc coating to hard-alloy cutting tool at treatment of large production sets on the large substrates with diameter up to 400 mm is described. Control of the plasma fluxes from the vacuum-arc source is provided by a set of the plasma traps generated on a way of propagation of the plasma flux, while a magnetron discgarge is used for the ion cleaning and preliminary heating of the parts. The control magnetic fields are generated by a set of electromagnets installed under the substrate.