Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок електронографічними методами
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Бібліографічний опис
Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок електронографічними методами : навч. посібник : [у 2 т.]. Т. 1 / Б. Т. Бойко [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т". – Харків : НТУ "ХПІ", 2014. – 142 с.