Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок електронографічними методами
Вантажиться...
Дата
2014
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
електронографія, картина дифракційна, електронограма, плівка монокристалічна, рефлекси зайві, дифракція подвійна, текстура пластинчаста, розширення теплове
Бібліографічний опис
Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок електронографічними методами : навч. посібник : [у 2 т.]. Т. 1 / Б. Т. Бойко [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т". – Харків : НТУ "ХПІ", 2014. – 142 с.