Публікація: Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок електронографічними методами
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Назва видання
ISSN
Назва тому
Видання
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
електронографія, картина дифракційна, електронограма, плівка монокристалічна, рефлекси зайві, дифракція подвійна, текстура пластинчаста, розширення теплове
Бібліографічний опис
Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок електронографічними методами : навч. посібник : [у 2 т.]. Т. 1 / Б. Т. Бойко [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т". – Харків : НТУ "ХПІ", 2014. – 142 с.