Вісник № 50
Постійне посилання колекціїhttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/29458
Переглянути
Документ Контроль геометричних розмірів зондів для атомно-силової мікроскопії інформаційно-вимірювальною системою(НТУ "ХПІ", 2016) Маркін, Максим Олександрович; Маркіна, Ольга Миколаївна; Кущовий, Сергій Миколайович; Бутенко, Катерина ОлександрівнаВ роботі описано принцип побудови інформаційно-вимірювальної системи, яка основана на базі оптичного мікроскопу й передавальної камери типу Novus NVC-130BH а також її налаштувань, визначення характеристик та їх робочих діапазонів. Експериментальні дослідження визначення геометричних розмірів та дефектів зондів атомного-силового мікроскопу NanoEducator (виробник NT-MDT Spectrum Instruments Ltd) інформаційно-вимірювальною системою показали, що розмір дефектів у виготовлених зондах становить 1 мкм.