Вісник № 48
Постійне посилання колекціїhttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/10966
Переглянути
Документ Оптимизация тепловых условий выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского(НТУ "ХПИ", 2014) Червоный, И. Ф.; Голев, Е. А.Рассмотрены приемы оптимизации теплового узла для выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского. Для создания заданных тепловых условий выращивания монокристаллов в конструкцию теплового узла вводятся дополнительные теплоизолирующие экраны и специальный верхний конусный экран. Совместное действие системы дополнительных экранов и расположение теплового узла позволило снизить непроизводительные потери тепла, в результате чего потребляемая нагревателем мощность снизилась на 33 %.