Вісник № 04
Постійне посилання колекціїhttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4060
Переглянути
Документ Процесс водородного восстановления трихлорсилана(НТУ "ХПИ", 2013) Червоный, И. Ф.; Реков, Ю. В.; Головко, О. П.Представлены результаты теоретического исследования о предварительном нагреве прутков-подложек в процессе водородного восстановления трихлорсилана– «Siemens-процесса». Обсуждаются применение легированных прутков-подложек для производства поликристаллического кремния с заданным уровнем концентрации легирующей примеси. В режиме генерации собственных носителей заряда, при нагревании кремния полупроводниковой чистоты в кристаллической решетке генерируются собственные носители заряда, которые обеспечивают определенную, в зависимости от температуры, электрическую проводимость. При использовании легированных прутков-подложек осуществляется расчет концентрации заданного типа примеси, с учетом величины нарощенного слоя поликристаллического кремния и перераспределения примеси между прутком-подложкой и объемом получаемых стержней поликристаллического кремния