(НТУ "ХПИ", 2014) Невлюдов, И. Ш.; Палагин, В. А.; Богдан, Ю. И.; Томанова, С. М.
Теории подобия и размерностей физических величин (ТП и РФВ) содержат основные принципы для оценки изменения свойств МЭМС при уменьшении линейных размеров. Различные активные силы меняются по разным законам, эти силы перечислены в статье. ТП и РФВ могут использоваться для анализа и оценки изменения характеристик МЭМС. В статье показаны некоторые основные тенденции микроминиатюризации.
