(НТУ "ХПИ", 2018) Костюк, Геннадий Игоревич; Евсеенкова, Анна Владимировна
На основе исследования размера зерна и состава покрытия 0,18HfNt0,82ZrN до и после обработки, нанесённых при напряжении на подложке 200 и 250В, были проведены исследования износа, стойкости РИ с покрытием и без. Получены зависимости снимаемого объёма материала за период стойкости от износа пластин по задней поверхности. Показано, что эффективность (снимаемый объём материала за период стойкости) выше для пластин с покрытием, которые обрабатывались при напряжении на подложке 250В – 2,5 (1,54 раза) как при 200В – 1,46 (1,21 раза) эта величина меньше для получистовой и черновой обработке (необработанные пластины), это связано с размером зерна, который в первом случае состовляет 93,9 нм, т.е. реализуются наноструктуры, тогда как для второго размер зерна выше за счёт более длительного нанесения покрытия (30 мин вместо 25 мин в первом случае), которое с ростом температуры растёт.
