Компьютерное моделирование формирования поверхности тонких плёнок кинетическим методом Монте-Карло

dc.contributor.authorКуц, С. С.ru
dc.contributor.authorКуценко, Александр Сергеевичru
dc.contributor.authorМарченко, Игорь Ивановичru
dc.date.accessioned2015-12-11T12:44:16Z
dc.date.available2015-12-11T12:44:16Z
dc.date.issued2010
dc.description.abstractВ работе разработана модель осаждения тонких плёнок, основанная на методе кинетического Монте-Карло. Предложенный алгоритм учитывает процессы диффузии по адатомным узлам кристаллической решетки, а также эффект затенения осаждаемых атомов неровностями рельефа поверхности. Проведенные расчеты показывают хорошее согласие с имеющимися экспериментальными результатами.ru
dc.description.abstractWe developed a model of deposition of thin films based on the method of kinetic Monte Carlo. The proposed algorithm takes into account the processes of diffusion adatomnym lattice sites, as well as the effect of shadowing of the deposited atoms by the roughness of the surface relief. The simulations are in a good agreement with available experimental results.en
dc.identifier.citationКуц С. С. Компьютерное моделирование формирования поверхности тонких плёнок кинетическим методом Монте-Карло / С. С. Куц, А. С. Куценко, И. И. Марченко // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Системный анализ, управление и информационные технологии. – Харьков : НТУ "ХПИ", 2010. – № 9. – С. 93-99.ru
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/18808
dc.language.isoru
dc.publisherНТУ "ХПИ"ru
dc.subjectфизическое вакуумное осаждениеru
dc.subjectпроцессы диффузииru
dc.subjectэффект затененияru
dc.subjectмодель осаждения плёнокru
dc.subjectпроцессы атомарного осажденияru
dc.titleКомпьютерное моделирование формирования поверхности тонких плёнок кинетическим методом Монте-Карлоru
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
vestnik_HPI_2010_9_Kuts_Kompyuternoe.pdf
Розмір:
451.54 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.21 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис: