Особливості розподілу температури плівкового нагрівача на основі прозорої електропровідної плівки ІТО

Abstract

Встановлено, що напилене магнетронним способом на скляний зразок віконного флоат-скла прозоре електропровідне ІТО покриття може мати топологічну структурну неоднорідність товщин, шорсткості, розміру зерен та механічних напружень, яка при нагріванні проявляється в нерівномірності температурного поля на ньому. Рекомендується у виробництві віконного скла з ІТО-покриттям проводити поляризаційний контроль механічних напружень в зразках готової продукції.

Thin-film transparent conductive coating on the glass surface of the tin oxide and indium (ITO) used in microelectronics and the "solar" energy. It used as a heat reflecting coating for glass in the utilities sector, which is a decrease due to heat radiation from the household premises on the street. The aim of research was to determine the presence of topological heterogeneity of thickness ITO and influence on his work as a heater on samples windowpane larger size than the common parts of optoelectronic devices. Research carry out on modern measuring equipment using a thermal imager, pyrometers, atomic force microscope and original methods polarimetry. It was found that the magnetron sputtered way to sample a glass window float-glass transparent conductive ITO coating may have topological structural heterogeneity of thickness, roughness, grain size and mechanical stresses which, when heated, is manifested in the uneven temperature field on it. It is recommended in the production of window glass coated with ITO for polarization control of mechanical stresses in samples of finished products.