Формообразование плоских оптических поверхностей при полировании

Abstract

Целью работы является исследование влияния кинематических параметров настройки станка на точность формообразования плоских поверхностей деталей электронной техники и оптических систем из кристаллического кварца при полировании, а также определение их наиболее рациональных значений, при которых достигается требуемая точность геометрической формы полированных поверхностей. В результате исследования изучены закономерности формообразования обрабатываемой плоской поверхности прецизионной оптической детали в процессе полирования. На основе обобщенной физико-статистической модели образования и удаления частиц шлама, а также метода усреднения относительной скорости перемещения инструмента и детали изучены зависимости съема обрабатываемого материала, характеризующие эволюцию формы полированной поверхности и величину отклонения от плоскостности. Определены наиболее целесообразные значения кинематических параметров, при которых повышается точность формообразования.

The aim is to investigate the influence of kinematic machine settings on the accuracy of formation forms a flat surfaces of parts of electronic devices and optical systems of crystalline silica during polishing, as well as the determination of their most rational values for which the required accuracy is achieved by the geometrical shape of the polished surfaces. The studies examined laws of formation forms a flat surface machined of precision optical parts in the process of polishing. On the basis of the generalized physical-statistical model of the formation and removal of particles slime, and the method of averaging the relative speed of movement of the tool and workpiece are obtained depending removal of the processed material, characterizing the evolution of the shape of the polished surface and the deviation from flatness. Determined the most appropriate values of kinematic parameters for which improves the accuracy of formation.