Получение толстых слоев сегнетокерамики методом вакуумного аэрозольного напыления при комнатной температуре

Abstract

Наведені описи методу, експериментального стенду та технологічних режимів, які дозволяють проводити низькотемпературний синтез товстих шарів сегнетокерамік з загальною формулою BaₓSr₁₋ₓTiᵧZr₁₋ᵧO₃ на поверхні металевих електродів. Обґрунтована перспективність одержаного нелінійного діелектричного матеріалу для застосування в галузі високовольтної імпульсної техніки.

The method, experimental rig and technological regimes for low temperature synthesis of bulk layers of BaₓSr₁₋ₓTiᵧZr₁₋ᵧO₃ ceramic on metal electrodes surface are described. The availability of produced nonlinear dielectric material for applicationin the field of pulsed power technique is substantiated.