Контроль швидкості розчинення матеріалу в процесі електрохімічного травлення

Abstract

Представлен прибор контроля скорости растворения материала в процессе электрохимического травления. Он разработан на базе интерферометра Майкельсона, в основе его работы лежит принцип интерференции двух когерентных лучей. Разработанная математическая модель интерференционных сигналов. Прибор предназначен для использования в системах автоматизации процессов электрохимического травления, а также может быть полезным при решении аналогичных задач.The device of material dissolution speed control in the process of electrochemical formenting is presented. It’s developed on the basis of Maykelson’s interferometer, the principle of two coherent rays interference lying in its operating mechanism. The mathematic model of interference signals is developed. The device is designed for use in the formenting electrochemical processes automation systems, as wellas for solving the analogous problems.