Модель принятия решения на этапе проектирования технологического процесса изготовления МЭМС акселерометров

Abstract

В статье предложена модель принятия решения о технологическом процессе (ТП) изготовления микроэлектромеханических (МЭМС) акселерометров на базе типизации ТП по результатам кластерного анализа объекта производства. Кластеризация акселерометров позволяет сгруппировать в рамках отдельных кластеров объекты по конструктивно-эксплуатационным признакам и предложить варианты ТП изготовления акселерометров, присущих конкретному кластеру. Результаты разработанного метода позволяют автоматизировать процесс проектирования ТП изготовления МЭМС акселерометров.

The paper is devoted to tasks of decision making automation at the stage of MEMS accelerometer production technological process design. For the task solving we propose approach based on technical process typing by cluster analysis results for production object - MEMS accelerometers. Accelerometers clustering allows to group in separate clusters objects by constructive and operational features and to propose accelerometer production technological processes inherent in a particular cluster.