Розрахунок механічних напружень на основі вимірювань двопроменезаломлення у звукопроводах ПАХ-пристроїв

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorОлійник, Остап Олеговичuk
dc.contributor.authorЖовнір, Микола Федоровичuk
dc.contributor.authorЦиганок, Борис Архиповичuk
dc.date.accessioned2017-03-15T08:29:58Z
dc.date.available2017-03-15T08:29:58Z
dc.date.issued2016
dc.description.abstractВ статі приведені результати дослідження внутрішніх механічних напружень в п’єзокристалі LiNbO₃ YZ-зрізу, а також приповерхневих механічних напружень, які виникають у звукопроводах після напилення зустрічноштирьових перетворювачів (ЗШП) при виготовленні пристроїв на поверхневих акустичних хвилях (ПАХ). Виміряний розподіл величини двопроменезаломлення з використанням методу модуляційної поляриметрії та розрахована на його основі відносна анізотропія механічних напружень у звукопроводі. Результати досліджень фотопружних властивостей звукопроводів демонструють високу чутливість модуляційно-поляризаційного методу вимірювання для контролю якості п’єзокристалів та виявлення залишкових приповерхневих механічних напружень після напилення ЗШП.uk
dc.description.abstractThe article presents the study results of internal mechanical stresses in piezoelectric LiNbO₃ crystals of YZ-cut, as well as near-surface stress, appeared in sound conductor after deposition of interdigital transducers (IDT) on the surface acoustic wave (SAW) devices during manufacturing. Birefringence distribution was measured by modulation polarimetry method. Mechanical stresses in the sound conductor were calculated on the basis of relative optical anisotropy. Research results of photoelastic properties show a high sensitivity of modulation-polarization measurement method for quality control of piezocrystals and to identify near-surface residual stress after IDT deposition.en
dc.identifier.citationОлійник О. О. Розрахунок механічних напружень на основі вимірювань двопроменезаломлення у звукопроводах ПАХ-пристроїв / О. О. Олійник, М. Ф. Жовнір, Б. А. Циганок // Вісник Нац. техн. ун-ту "ХПІ" : зб. наук. пр. Сер. : Механіко-технологічні системи та комплекси. – Харків : НТУ "ХПІ", 2016. – № 7 (1179). – С. 66-71.uk
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/27809
dc.language.isouk
dc.publisherНТУ "ХПІ"uk
dc.subjectмеханічні напруженняuk
dc.subjectфотопружністьuk
dc.subjectзвукопровідuk
dc.subjectПАХ-пристроїuk
dc.subjectмодуляційна поляриметріяuk
dc.subjectніобат літіюuk
dc.subjectлінія затримкиuk
dc.subjectmechanical stressen
dc.subjectphotoelasticityen
dc.subjectsound conductoren
dc.subjectSAW-devicesen
dc.subjectmodulation polarimetryen
dc.subjectlithium niobateen
dc.subjectdelay circuiten
dc.titleРозрахунок механічних напружень на основі вимірювань двопроменезаломлення у звукопроводах ПАХ-пристроївuk
dc.title.alternativeCalculation of mechanical stresses based on birefringence measurements in sound conductors of SAW-devicesen
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
vestnik_KhPI_2016_7_Oliinyk_Rozrakhunok.pdf
Розмір:
534.99 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.21 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Вісник № 07